數(shù)字式質量流量控制器 我們提供基于領域技術開發(fā)的各種型號以滿足用戶需求

各種氣體在不同的工業(yè)領域中有各種用途：從廣受矚目的新能源領域，太陽能面板和燃料電池的研發(fā)和制造，到電子工業(yè)中的半導體，液晶面板和LED的研發(fā)制造。各種氣體在推動社會發(fā)展的進程中發(fā)揮著作用。

而對氣體流量的精確測量與控制也是提高生產率和能源節(jié)省所需要的。

HORIBA STEC專注于質量流量控制器的研究開發(fā)，服務于近乎藝術級的半導體制程，并持續(xù)不斷地制造各類新的產品，滿足用戶的各種需求。

數(shù)字式質量流量控制器多種配置選擇

通信模式可選擇數(shù)字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS。

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規(guī)格供選擇：124 mm-和106mm-(W系列)。

氣體流量控制范圍擴大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要氣體控制方面的應用。

高精度

高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現(xiàn)高響應速度

Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了最新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)"，對于所有設置點它可以實現(xiàn)1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據(jù)當下的設定點不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。

多氣體、多量程的解決方案

專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力最新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

流量控制范圍為標定滿量程的2～100%