應用案例
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硅表面鈍化技術采用的化學蒸汽沉淀法是一種全新的涂覆技術。在特制的爐中放置所需處理的部件,導入特殊技術的氣體。主要特點是這種氣體可以滲透到曲折的管道內部并提供很薄的均勻涂覆,即使復雜的形狀完成均勻的涂覆。特 點l 化學鈍性l 超高耐腐蝕能力l 耐高溫 韌性好l 涂覆層厚1微米l 適應各法規(guī)分析方法,與特種合金材料相比,大大降低成本應用領域l 石油化工、油氣勘探l 半導體、 航天自動化l 分析技術 、氣體制造l 環(huán)境監(jiān)測采樣l 活性極性強以及強酸、強堿氣體 典型應用l 進樣系統(tǒng):高純度氣體、腐蝕性氣
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